热点新闻网
每天更新最新资讯

韩国公司开发首款 EUV 光刻胶通过三星可靠性测试:打破完全依赖海外供应商的局面

  韩国光刻胶供应商东进世美肯 (Dongjin Semichem) 表示,近日通过了三星电子的 EUV 光刻胶可靠性测试(合格)。这款光刻胶为双方合作研发,打破韩国 EUV 光刻胶完全依赖海外供应商的局面,最快有望明年上半年向产线批量供应。

  据 ETNews 报道,业内人士表示,“东进世美肯在其位于京畿道的华城工厂开发了 EUV 光刻胶,并在三星电子的华城 EUV 生产线进行了测试,最终获得了资格。”并补充道:“两家公司的合作,使得 EUV 光刻胶能够以高技术水平快速开发。”

  据了解,虽然 KrF 和 ArF 氟化物工艺的光刻胶在韩国已经大量生产,但没有能够绘制更精细电路的 EUV 光刻胶。这是因为开发非常困难,韩国国内使用的 EUV 光刻胶大部分是从日本进口的。

  2019 年日本出台出口限制措施后,东进世美肯开始利用自己的基础设施,如现有的氟化氩曝光机和比利时半导体研究所(IMEC)的 EUV 设备,将 EUV 光刻胶本土化。同时,三星提供了 EUV 测试环境并且成功提高了光刻胶质量,使其能够被成功应用。

  三星是否会立即在其半导体产线上使用东进世美肯的 EUV 光刻胶,还有待观察。通常情况下,测试合格后就会用于大批量生产。因此,有人预测,最早将于明年上半年供应。

  双方拒绝就 EUV 光刻胶认证是否通过一事向 ETNews 发表评论。三星有关人士表示:“无法与合作伙伴确认是否通过 EUV 光刻胶验证”,“正在努力使半导体材料、零部件、设备(来源)多样化。”

*** 次数:20100 已用完,请联系开发者***